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对超短超薄LDD nMOSFET中的Snapback应力特性进行了研究。Snapback应力过程中雪崩热空穴和电子同时注入栅氧化层，会产生界面态和大量中性电子陷阱。
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除了喷布处理外，TDS也适合注干和浇根处理。
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